1）实验内容

本实验首先对科研用日立SU8020冷场扫描电镜的电子发射枪、各级聚光镜以及物镜光阑、二次电子及背散射电子探测器、能谱探测器、五轴样品台等主要组成部分进行动画拆解和组装演示，然后模拟电子束从电子枪发射开始，经各级聚光镜光阑和物镜光阑到达表征样品表面，产生的二次电子、背散射电子以及特征X射线被不同位置不同类型的电子信号探测器接收形成的展示不同结构信息的二次电子形貌相、背散射成分相以及元素区域分布相的完整过程。实验中涉及物理电子学、磁学以及化学中的轻重元素等知识，学科交叉性强，对培养学生以学科交叉为特征的“新工科”意识具有重要作用。

2）实验功能和效果

该仿真实验不仅能使学生对材料表征常用大型科学仪器-场发射扫面电镜的内部组成和工作原理有直观的了解，还能使学生通过实验体验材料科学中表征研究的具体过程，加深对物理、才来结构等相关理论知识的理解，培养学生具备初步的材料科学研究素质和树立多学科交叉的创新意识。