仪器编号:2112-1
仪器名称:冷场发射扫描电镜
英文名称:FESEM
购置日期:2016/7/28 0:00:00
购置价格:3462182.00
生产厂家:日立高新技术公司
规格编号:SU-8020
安置地点:2112
技术指标:二次电子分辨率:1.0nm (加速电压15kV、WD=4mm)/1.3nm (加速电压1kV、WD=1.5mm);放大倍率:20~8000,000(底片输出)/60~2,000,000(显示器输出);加速电压: 0.1~30kV 连续可调/最大电子束流:不低于2 nA;5轴样品台驱动行程:X:0-50 mm, Y:0-50 mm, Z:1.5-30 mm, T:-5-70°, R: 360°
用途及测试范围:材料表面截面观察,微观形貌表征,元素定性分析