仪器设备

冷场发射扫描电镜

发布时间:2015-05-19 17:21  浏览:

仪器编号:2112-1

  • 仪器名称:冷场发射扫描电镜

  • 英文名称:FESEM

  • 购置日期:2016/7/28 0:00:00

  • 购置价格:3462182.00

  • 生产厂家:日立高新技术公司

  • 规格编号:SU-8020

  • 安置地点:2112


  • 技术指标:二次电子分辨率:1.0nm (加速电压15kV、WD=4mm)/1.3nm (加速电压1kV、WD=1.5mm);放大倍率:20~8000,000(底片输出)/60~2,000,000(显示器输出);加速电压: 0.1~30kV 连续可调/最大电子束流:不低于2 nA;5轴样品台驱动行程:X:0-50 mm, Y:0-50 mm, Z:1.5-30 mm, T:-5-70°, R: 360°

    用途及测试范围:材料表面截面观察,微观形貌表征,元素定性分析